上海弗川自动化技术有限公司是一家股份制企业，由多位在半导体，太阳能行业工作多年的有志青年投资成立的一家集设计，研发，生产，安装，施工为一体，专业气体供应设备和整体气体解决方案的供应集成商。我们专业为...半导体，太阳能,LED光电厂,TFT/LCD面板厂等行业和公司提供专业的，稳定的，适合客户现场使用的气体供应设备，我们的设备主要包括：各类大宗气体供应系统和设备，如BSGS,GC，GR,TMA,Mixer混合气体设备等；各种类型的气体分流设备，如VDBVMB/P多功能气体分流阀件箱等；各类制程设备配套的专用供应设备备,TEOS,TCS,DEZn,TMALCBr4,TMGa,DETe各类制程设备内部的非标定制加工盘面等,其中MFC部分由甲方提供.公司拥有1950平方米的厂房,其中有600平方米的无尘室CleanRoom。